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利用载能离子改善薄膜韧性并正确表征薄膜韧性是实现硬质无氢DLC(类金刚石碳)薄膜在绿色精密金属零件上产业化应用的一个关键前沿课题。本课题将载能离子银晶粒纳米化和薄膜韧性表征结合起来研究,利用多离子束载能离子调整无氢硬质含银DLC 薄膜的纳米银晶粒尺寸、晶界间距、晶界滑移,制备兼备高硬度和高韧性的硬质DLC 薄膜,探索硬质DLC 薄膜韧化机理、薄膜韧性的正确表征和在超深钻探工况条件下的应用。在系统表征薄膜结构、性能、韧性和内应力的基础上,通过分析比较不同薄膜韧性表征结果,并通过薄膜内应力、结构和性能测试结果进行验证,尝试找到正确的薄膜韧性表征方法;与此同时,逐步揭示纳米银晶粒与载能离子、薄膜韧性之间的内在关系,合成兼备高硬度和高韧性的DLC 薄膜,拓展载能离子沉积硬质DLC 薄膜的产业化应用。