[00114927]采用一体式低温吸附法生产超纯氢
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技术详细介绍
一体式低温吸附法生产超纯氢装置具有如下技术特点：盘管式三流换热器采用多层排列,放在装置内的上部,用于原料气预冷和排空氮气、纯化后产品气的冷量回收。超低温吸附器放在装置內的下部,浸在液氮中,内装改性活性炭吸附剂,用来去除气体中的杂质。吸附再生用电加热器安放在超低温吸附器上,用于再生时加热改性活性炭吸附剂。真空绝热杜瓦瓶是整套装置的外容器,所有设备都装在其中,起保冷绝热作用减少能量损耗。 “一体式低温吸附法生产超纯氢装置”专利所解决的关键技术使超纯氢气电子气体纯度达到6N以上,实现了超纯氢气电子气体批量生产。本专利研发的超纯氢气专利产品于新材料-精细和专用化学品-电子化学品制备及应用技术-特种（电子）气体,是我国重点政策支持的行业,是国家重点支持的高新技术领域产品,通过本专利制造的超纯氢生产装置生产的超纯氢满足了国防工业、半导体、微电子等高科技产业对氢气纯度的要求,实现了关键电子化工材料国产化,具有重大的社会效益和经济效益。
