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本发明提供了一种用于太阳能电池用增透及自清洁复合薄膜的制备方法,首先将钛源与无水乙醇混合后向其内加入酸性溶液,形成混合溶液A,接着,在该混合溶液A中加入由去离子水和无水乙醇形成的水醇混合溶液,搅拌均匀形成TiO?,溶胶;接着,将硅前驱体正硅酸乙酯与无水乙醇混合后搅拌均匀后调节pH为2~3,随后,加入蒸馏水,搅拌后静置陈化,即得SiO?,溶胶;再接着,将TiO?,溶胶和SiO?,溶胶混合后,将其采用喷涂或旋涂的方式成膜,真空干燥,最后在300~500℃下热处理1~6h,即得用于太阳能电池用增透及自清洁复合薄膜。本发明所制得的复合薄膜在提高电池对光的利用率的同时可以减少由于户外使用太阳能电池的清洗及维护费用,有助于推进太阳能电池的产业化进程。