[00115341]一种具有湿度补偿功能的双通道声表面波气体传感器
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技术详细介绍
本发明公开了一种具有湿度补偿功能的双通道声表面波气体传感器,包括压电基板和两对叉指电极,其中叉指电极设置在压电基板上,构成平行的声表面波测量通道和参考通道,其特征在于,在测量通道上涂敷有敏感薄膜,在参考通道上涂敷有湿度补偿薄膜。该气体传感器,结构简单,制备容易,增加了湿度补偿功能,具有在复杂的温湿度条件下工作的能力。
