[00115927]一种低温大单层厚度钛酸铅铁电薄膜的制备方法
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本发明公开了一种低温大单层厚度钛酸铅铁电薄膜的制备方法,用聚醋酸乙烯酯PVAC作为钛酸铅PbTiO＜SUB＞3＜/SUB＞铁电薄膜先驱体的添加剂,制备PbTiO＜SUB＞3＜/SUB＞-PVAC复醇盐-有机物溶液,然后将这种溶液用甩胶法制成凝胶薄膜,将凝胶薄膜进行热处理后,得到结晶的钛酸铅PbTiO＜SUB＞3＜/SUB＞铁电薄膜。本发明缩短了钛酸铅PbTiO＜SUB＞3＜/SUB＞铁电薄膜的制备工艺周期、改善了钛酸铅PbTiO＜SUB＞3＜/SUB＞铁电薄膜的性能、提高了铁电薄膜制备工艺与微电路的集成兼容性。
