[00116235]基于超材料吸收器的太赫兹微测辐射热计及其制备方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种基于超材料的太赫兹微测辐射热计及其制备方法,由超材料太赫兹吸收器和热探测器两部分组成。其中,热探测器包含微桥支撑层、热敏电阻薄膜、金属电极和钝化层四层材料。超材料太赫兹吸收器包含底层金属膜、中间介质层、顶层金属膜三层材料。本发明将超材料太赫兹吸收器与热探测器集成在一起,把超材料吸收太赫兹辐射产生的热量传递给热探测器,使热敏电阻薄膜的电学性能发生变化,由此实现太赫兹室温探测成像。本专利提供的微桥结构及制备工艺克服了微桥因超材料的加入而引起的形变等问题,使微测辐射热计具有高的力学稳定性和高的太赫兹吸收率。本发明解决了传统的微测辐射热计难于探测太赫兹波的缺陷,而且器件采用传统的微加工技术制备,适合产业化生产。
