[00116738]光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法
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技术详细介绍
一种光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法,其构成包括模式产生单元、可旋转波片、偏振分光单元、环一产生单元和环二产生单元。本发明通过选择相应的模式产生单元的衍射光学元件和适当的调整,可以产生光瞳面光强与内外直径连续可变、单环形照明模式和双环形照明多种照明模式。 与在先技术相比,本发明具有下列技术优点： 1、本发明光刻机用光瞳整形光学系统,可实现单环形照明和双环形照明模式。 2、本发明实现的照明模式中,相应单环形照明模式和双环形照明模式之间的变换不需要更换衍射光学元件,只需调节锥形镜的锥尖相对于反射镜之间的距离。 3、本发明实现的照明模式的内外直径可连续调节,且内外直径的调节相互不影响。 4、本发明实现的照明模式中内外环能量分配比例可连续调节。
