[00116927]旋转钽靶材

旋转钽靶材作为于溅射镀膜机的特殊功能耗材,主要由钽管材料和背管两部分组成,经特殊的工艺将二者粘结而成。产品设计有别于平面靶材,从材料的选用,到加工工艺,直至检测方法,都高于一般的平面靶材技术标准。具有利用率高、溅射速率高、镀膜工艺稳定性好等优势。 成果的创造性和先进性： （1）采用冷喷涂的方法,实现管状靶材金属化,保证靶坯与背管的可靠连接。克服了真空镀膜不能对曲面内壁工件均匀金属化的缺点,也避免传统丝网印刷生产率低以及电镀对环境造成的污染; （2）采用软焊接方法,使用低熔点铟作为焊料,填充于靶坯和背管之间,既保证溅射过程中,传递热量,同时靶材用完后,能够低温加热卸靶,背管不易变形,可重复使用; （3）焊接过程中,在背管外壁固定两根粗细一样的铜丝,采用特殊材质、高精度的两个半圆石墨模具箍紧,以保证内外管同心; （4）焊接率检测,设计了特殊的转动装置,使靶材平稳匀速转动,从而将管状转化为平面,利用超声无损伤探测技术实现焊接率的检测。 作用意义; （1）项目产品的开发是我公司开发旋转靶材的开端,其成功经验将为其他旋转靶材产品的研发提供技术参考; （2）旋转钽靶材将在大面积玻璃镀膜和太阳能行业广泛应用,在一定程度上缓解我国旋转靶材主要依赖进口的局面,推动相关行业快速发展; （3）在旋转靶材的研制过程中,一批技术人员和生产骨干勇于拼搏,不断创新,培养了一支专业化人才队伍,为今后建立品种多样,规格齐全的产品系列,逐步制定完善国家标准体系,建设具有国际竞争力的旋转靶材生产基地打下良好基础。