[00116951]一种输能窗窗口封接结构及其制作方法

一、课题来源与背景 太赫兹器件由于频率极高,相对一般常规真空器件中应用的陶瓷金属结构输能窗,太赫兹器件更适合采用更薄更小的云母输能窗,这就需要将云母与金属进行真空气密封接。由于云母本身与焊料并不浸润,又无法像陶瓷一样进行金属化处理,而且云母材料非常薄和脆,在封接中很容易开裂,使得其与金属的焊接难以实现。 正确合理的封接结构是获得云母-金属封接的重要因素,它直接影响到太赫兹器件的输能窗口质量,从而影响到器件本身的可靠性。申请人通过研究发现,采用玻璃进行过渡,可以解决云母与金属的封接问题,但玻璃与云母的封接、以及玻璃与金属的封接是首要需要解决的两个技术难题。 二、技术原理及性能指标 本发明公开了一种输能窗窗口封接结构及其制作方法,封接结构包括金属管,还包括云母片,云母片和金属管之间设有玻璃过渡管,云母片和所述玻璃过渡管一端端面通过低玻粉层相连接,金属管上设有插入玻璃过渡管的另一端内的插接部;封接结构的制作方法,在云母片与玻璃过渡管粘接密封后,玻璃过渡管与金属管套封。 三、技术的创造性与先进性 本发明的优点在于：该输能窗窗口封接结构及其制作方法,针对现有技术中云母片与金属管直接封接的缺陷,改云母片与玻璃过渡管粘接密封及玻璃过渡管与金属管套封相结合的结构;通过结构的改变,回避了云母片和金属管焊接易开裂的缺点,实现了云母片与金属管的真空气密封接;同时无氧铜在封接部位加工成薄边刀口状的插接部,采用套封结构,插接部插入玻璃中去,利用插接部的柔韧性能,使得封接部位的应力减小,避免玻璃开裂,保证了该结构的可靠性,保证了输能窗窗口质量;本发明实现了云母与金属可靠封接,降低了封接难度,提高了太赫兹器件的输能窗口的气密性和可靠性。 四、技术的熟练程度,适用范围和安全性 本发明提供的输能窗封接结构简单、制作工艺完善,目前已经熟练掌握该技术,并实现了在太赫兹器件制作过程中的应用。本发明涉及真空器件的输能窗口结构,具体涉及一种输能窗窗口封接结构及其制作方法。本工装工艺安全可靠,封接难度低,安全系数高。 五、应用情况及存在的问题 由于太赫兹器件应用的发展,迫切需要高质量、高可靠的真空密封输能窗。本发明提供的一种输能窗窗口封接结构及其制作方法将极大地提高太赫兹器件输能窗窗口的质量,应用前景十分可观。在以后的研究计划中,我们将持续改良此工装工艺。 六、历年获奖情况 无