[00119064]化学气相沉积/化学气相渗透工艺尾气处理方法与设备
联系人：
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种工业化CVI/CVD工艺尾气处理方法与设备,主要用于以含氯硅烷为原料的工业化生产过程的尾气处理,也可用于其它真空设备的尾气处理。本发明采用机械泵油循环沉降过滤技术、蒸汽与尾气反应处理技术和尾气处理产物分离技术对经过油过滤、固体过滤的尾气进行处理,使尾气处理后的气体、液体和固体产物的排放均满足环保要求。本发明提高了机械泵工作的稳定性,具有尾气处理设备无噪音、寿命长、成本低廉且清理和维护简单方便等优点。
