[00121407]太赫兹焦平面阵列探测器

THz波是指频率在0.1THz到10THz范围的电磁波,介于微波与红外之间。由于THz波的穿透性和对金属材料的强反射特性,并且THz的高频率使得成像的分辨率更高,所以可以很容易看到隐藏在衣物、鞋内的刀具、枪械等物品。同时如果结合THz的物质鉴别特性,能够区分你身上是否携带炸药或毒品。在成像雷达、安检设备、反恐设备、航天飞机缺陷检查、生化武器检查、毒品、爆炸物和其他违禁物品监测等领域具有广泛应用。 非THz成像技术可以用来检验食品新鲜度,补充医疗X射线透视仪、CT,以及用于机场安全检查和炭疽均等生化武器检查等,而这些领域的应用都离不开THz焦平面阵列探测器。THz焦平面阵列探测器还可以用于天文学研究,主要用于探测大爆炸以来宇宙中的THz辐射,用于研究宇宙空间、星系、恒星和行星等的形成与演变等。THz焦平面阵列探测器有着广泛的应用前景。据国外权威机构预测,到2020年THz焦平面阵列探测器年销售收入将达到1亿美元。 目前国际上可以商用的THz焦平面阵列探测器只有日本的NEC。目前世界上只能买到NEC的THz相机。NEC不卖探测器,卖到中国的THz相机将帧频锁定在8.5 Hz,仅仅够低性能的研究;很难实际应用,而且售价在50万人民币。 本项目非制冷THz焦平面阵列探测器是在烟台睿创微纳技术股份有限公司现有非制冷红外焦平面阵列基础上,通过特殊耦合天线设计与特殊封装窗口来实现的THz成像器件。THz焦平面阵列探测器涉及到的关键技术有硅基读出电路（ROIC）设计、THz吸收微天线阵列设计、微桥阵列的热结构设计与微纳加工、THz增透窗口开发、THz探测器真空封装等。 烟台睿创开发的THz焦平面阵列探测器将推动国内外THz成像技术及其应用的发展。这必将导致基于THz成像技术的新型安检设备、新型医疗诊断设备、新型科研设备的蓬勃发展。这能够带动相关行业的创新,并且这些产品都能够更好的为人类服务。