[00122920]电子束蒸发镀膜膜厚均匀性的修正方法
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技术详细介绍
电子束蒸发镀膜膜厚均匀性的修正方法,是一种电子束蒸发镀膜膜厚均匀性的修正方法,即修正挡板的设计方法,本发明方法可以快速准确地设计出修正挡板,可以大大提高光学薄膜厚度均匀性。
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