[00124905]透射型样品振幅和相位成像装置和方法
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技术详细介绍
一种透射型样品振幅和位相成像的装置和方法,通过移动扫描小孔光阑用其在一定距离处的衍射斑作为样品的照明光,并在小孔光阑在成像系统中的像面内用探测器其记录小孔光阑在不同位置时的衍射光斑,通过计算机进行迭代运算的方式获得样品的复振幅透过率函数,不仅能够获得振幅信息还能够实现相位成像。同时每一幅衍射图样不仅能够记录衍射斑光强分布,还能够通过相关性运算获得与之相对应的小孔光阑的实际位置,实现不依赖平移台精度的再现像重建,克服了平移台精度不足带来的误差。
