[00125097]MEMS加工与封装建模、模拟与IP库

MEMS系统级三维组件库建模通用方法与技术成果简介：成果涉及两方面：专门针对MEMS系统级设计的通用建模方法与技术，和用于MEMS计算机辅助设计的三微组件库。成果可用于国防和民用领域的MEMS器件开发过程：1)多端口组件网络方法为MEMS系统级建模提供了总体解决方案；三维组件建模通用方法与技术为建立微结构多端口组件模型提供了规范、标准。上述对MEMS建模的总体规划和具体过程有普遍指导意义，尤其对设计微型测量惯性器件等提供了完备的解决方案。2)多端口三微组件库可用于多种MEMS器件的建模与分析。从器件的结构和功能角度，支持弹性梁支撑的可动微结构以及静电驱动/电容检测形式的惯性MEMS器件、微镜、谐振器等的建模与仿真。从能量类型角度，支持静电-结构-流体耦合问题的MEMS器件的建模与仿真。西安618所法乐公司和航天科技集团771研究所对多端口三维组件库进行应用。签署销售合同2份，销售软件价值15万元。课题成果的使用保证了重点型号产品批量生产和产品改型的需要，为“高新工程”做出了重要贡献。在国防领域，多端口三维组件库已服务于微型惯性导航系统、光学MEMS器件的研制中；在民用领域，多端口三维组件库已服务于汽车安全装置用惯性器件等的研制中。此外，多端口三维组件库属于典型高科技产品，推广应用后可形成高新技术产业的新的增长点，并具有广阔的应用前景。作为软件，总是处于不断升级与完善，该软件成果也一样。MEMS技术是一迅速发展的技术并且具有很大的技术发展空间，因此，软件也应不断地发展、充实和完善。软件的推广与完善与技术和材料的发展和应用有很大的关系，虽然该软件成果已销售了两套，但还有许多工作要做。由于软件的研究自主性较大，投资规模有限，因此，软件的完善周期较短，投入较少。由于研究与开发工作课题组在项目完成后一直在继续，在不断地提高水平与完善功能，所需的人、财、物资源量有保证，设计软件环境的开发工作正在进行中，总体基础已完全具备。关键是要推广该软件的应用。软件成果转化的关键问题在两点：成果的实用化研究；成果的商业化操作。对于该成果，要实现成果的产业化必须解决的实用化问题包括模型的稳定性问题、计算精度与效率的矛盾问题，这部分工作正在进行。第二个面临的问题是商业化开发，这个工作需要商业化运作的公司支持，作为软件要想实现产业化存在一定的困难，虽然投资较小，但软件的推广所面临的非技术问题较多。