[00125296]一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置

本发明涉及多晶硅生产用氢化炉电极,特别是一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置。 背景技术：俄罗斯稀有金属研究院设计的一种多晶硅生产用氢化炉装置内底盘上电极密封结构,利用聚四氟乙烯材料来达到如下功能：在四氯化硅和氢气高温下发生氢化反应过程中,既要起绝缘作用,又要起绝对可靠密封作用。但是聚四氟乙烯材料只能在250°C以下才能安全使用,氢化炉内四氯化硅和氢气是在1150-1250°C高温下发生氢化反应,虽然底盘上有夹套冷却水冷却,但电极绝缘处温度仍然超过250°C,如果聚四氟乙烯材料在生产过程中由于高温原因发生塑性变形或烧焦碳化,其绝缘作用就可能失败,电极和底盘就可能接触造成短路现象,这样就容易导致氢化炉发生爆炸、泄漏的氢气也容易引发火灾等安全事故。为解决上述技术问题,本发明所采用的技术方案是：一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法,在电极与底盘之间通过设置氧化锆陶瓷密封装置、柔性石墨密封圈和0型密封圈来共同实现耐高温、绝缘和密封,旋紧不锈钢螺母,电极与底盘和玻璃纤维衬套拉紧,使柔性石墨密封圈、0型密封圈和聚四氟乙烯垫环压紧变形来形成密封,同时在电极内通入冷却水。本发明所要解决的技术问题是提供一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置,可以让电极承受650°C以下高温,且密封性能可靠。 为解决上述技术问题,本发明所采用的技术原理是：一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法,在电极与底盘之间通过设置氧化锆陶瓷密封装置、柔性石墨密封圈和0型密封圈来共同实现耐高温、绝缘和密封,旋紧不锈钢螺母,电极与底盘和玻璃纤维衬套拉紧,使柔性石墨密封圈、0型密封圈和聚四氟乙烯垫环压紧变形来形成密封,同时在电极内通入冷却水。本发明提供的一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法,通过在电极内连接冷却循环水,并采用特种氧化锆陶瓷、柔性石墨和氟橡胶材质的0形密封圈等多种材料分别解决电极和底盘之间的耐高温、绝缘和密封问题,提高了氢化炉装置的可靠性,保障了氢化炉装置的安全运行,提高了氢化炉装置的生产效率采用的特种氧化锆陶瓷在高温下有较好的抗压强度,可以长期稳定地工作,柔性石墨也耐高温,因此在高温下工作,可以确保不会发生因为材料本身不耐高温而导致电极和底盘接触,造成短路而发生爆炸、火灾等安全事故,保证设备的安全生产。在电极中设有冷却循环水的位置,并可靠的密封,使电极下端的温度低于50°C, 因此采用氟橡胶材质的0形密封圈不会出现因为高温老化的问题,可以防止炉内介质特别是分子量极小的氢气泄漏而引发火灾等安全事故,不仅可以确保设备的安全使用,而且可以延长设备的使用寿命。本发明所要解决的技术问题是提供一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置,可以让电极承受650°C以下高温,且密封性能可靠。 一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的装置,应用情况如下：包括底盘,电极通过不锈钢螺母与底盘连接,电极顶端下方设有一个凸台,在凸台下方依次设有石英管、柔性石墨密封圈、氧化锆陶瓷绝缘套、氧化锆陶瓷绝缘环、0型密封圈、聚四氟乙烯垫环、0型密封圈和玻璃纤维衬套,电极内设有冷却装置。