[00125885]光刻物镜奇像差原位检测方法
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技术详细介绍
一种光刻机投影物镜奇像差原位检测方法,本发明通过处理检测标记空间像在不同对称位置的光强差值,确定最佳测量位置,获得与其对应的最佳灵敏度矩阵。本发明利用检测标记空间像在最佳测量位置的光强差与投影物镜奇像差间的线性关系,提高像差的检测精度。 光刻机投影物镜奇像差会引起成像位置的横向偏移、图形线宽不对称等问题,从而影响光刻机的套刻精度、降低光刻成像的CD均匀性。随着光刻特征尺寸的不断减小,投影物镜波像差对成像质量的影响越来越严重。研发快速、高精度的投影物镜像差检测和控制技术具有重要意义。
