[00126485]鸡蛋清稀薄蛋白作为光刻胶的应用
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技术详细介绍
本发明公开了一种鸡蛋清稀薄蛋白作为光刻胶的应用。本发明以从自然界能够广泛获取的鸡蛋清稀薄蛋白作为光刻胶,避免了传统光刻胶在人工合成时造成的环境污染,薄膜粗糙度低,厚度可控,易实现大面积制备,且其具有较好的紫外、电子束敏感度,可用紫外、电子束方式曝光,曝光之后仅需用水显影,对环境无污染,显影效果较好;其同时还具有良好的抗刻蚀性能,在刻蚀后可选用胰蛋白酶溶液去胶。
