[00126669]一种双层微测辐射热计及其制作方法5
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技术详细介绍
本发明公开了一种双层微测辐射热计及其制作方法,包括用于非制冷红外探测器或非制冷太赫兹探测器微测辐射热计的微桥结构,其特征在于,该微桥由上桥面和下桥面两个独立的桥面所组成,光吸收材料处在上桥面、热敏电阻材料处在下桥面,微桥上桥面的四根上下桥面连接柱与微桥下桥面的金属热量传输层相连接。微桥的上桥面包含一层或多层光吸收材料。这种双层微桥一方面具有较高的光吸收率和填充因子,另一方面还具有较高的温度均匀性和力学稳定性。这种双层微测辐射热计及其制备方法能克服现有技术中存在的缺陷,提高了器件的工作性能,适宜大规模产业化生产。
