[00127344]双环路二维剪切干涉检测装置
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技术详细介绍
一种双环路二维剪切干涉检测装置,其构成是在待测激光束的前进方向依次是扩束镜、45度置放的第一分光镜、135度置放的第二分光镜及90度置放的第二全反射镜,在第二反射光路上设置第一全反射镜。
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一种双环路二维剪切干涉检测装置,其构成是在待测激光束的前进方向依次是扩束镜、45度置放的第一分光镜、135度置放的第二分光镜及90度置放的第二全反射镜,在第二反射光路上设置第一全反射镜。
