[00127556]±2.5PPM高精度高稳定度石英晶体谐振器的制作工艺

该项目提出是由于目前电子产品市场上对高精度、高稳定度石英晶体谐振器的需求量越来越大，其原因一是需要大量此类元件代替价格昂贵并且体积较大的温度补偿器件，二是由于无线电波资源有限，对信道的划分日益密集从而对晶体的品质要求也越来越高。石英晶体谐振器的技术原理简单，来源就是在石英晶片两面的金属电极上施加电压，利用石英晶体的压电效应使石英晶片产生机械振动，从而得到特定的频率。利用该工艺生产的产品性能稳定，技术指标各方面均可达到世界先进水平。该制造工艺的研究成功实现了行业技术的新突破，对大批量生产高精度高稳定度石英晶体谐振器提供了可靠的技术保证。其先进性具体表现在以下几个方面：一是对晶片的来料质量和晶片角度的选择进行了严格的规定，二是改进晶片的研磨方法，使平行度、平面度都得到很大提高；三是采取独特的先进方法将应力对晶片的影响降到最低；另外还对晶片的腐蚀、净化车间的净化度以及晶体净化方法都进行一系列的改进，从而使晶振的频率温度技术性能得到了显著的提高，保证了温度频差在规定的±2.5ppm范围内，满足客户的特殊要求。该生产制作工艺通过近两年时间的严格检验，其技术已成熟，适用于整个晶体制造行业，而且安全可靠。该项目社会经济效益显著，产品可替代进口，并且附加值较高。