[00127738]基于锗基底的可见/红外宽光谱分色片
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技术详细介绍
本发明公开了一种可见/短、中波红外宽光谱分色片，该分色片以锗为基底，反射堆以ZnS和YF3为高低折射率材料，等效层采用SiO和Ge，采用离子源辅助、合适基底温度等特定工艺镀制而成。该分色片在入射角为45°下测得：透射区波段2.5～2.95μm，4.2～4.8μm，＞90％；反射区波段0.55～0.75μm，＞70％。本发明分色片产品性能稳定，适合于现代多光谱空间遥感仪器的分色使用。
