[00127787]具有集成式固态薄膜Pt参比电极的GaN生物传感器及制作方法
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本发明公开了一种具有集成式固态薄膜Pt参比电极的GaN生物传感器及制作方法,本发明提出的基于GaN生物传感器的集成式固态薄膜Pt参比电极与GaN生物传感器现用外置Pt参比电极相比,电极位置固定,采用微电子工艺制作,参比电极精密度更高,且与GaN器件同时制作使得制作成本低,集成度高,易于进行小型化和便携式GaN生物传感器的实现。
