[00127897]四平行柔性铰链精密微位移电感传感器
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技术详细介绍
“四平行柔性铰链精密微位移电感传感器”主要内容为将纳米技术中的柔性铰链技术应用于位移传感器,实现微位移的传感与传递一体化。柔性铰链技术广泛应用于纳米技术中,可实现末端位移完全由结构体自身弹性变形提供,运动范围极其微小,一般可达到立方微米级;可实现单片设计,免予装配;无间隙和摩擦,在一定程度上提高了系统的重复定位精度,减小了精度损失,使传感器可靠性提高,使用寿命延长。免予润滑,避免了污染,非常适合于高精度作业。目前,线性量程可以达到正负100微米、正负200微米、正负300微米、正负400微米;精度可达到0.1微米-1微米;重复性为0.05微米-0.5微米。与同类产品相比较,具有线性量程大,测量精度高的特点。 采用数学分析方法分析了温度特性,得到了温度漂移消除方法。采用极少的电阻、电容构成虚地原理的文氏正弦波发生器,具有稳定的振荡频率和幅频特性。 选择不同材质的磁芯材料,加工成为不同尺寸的圆柱体形状。通过大量实验选择确定了磁芯的材质及其尺寸参数。
