技术详细介绍
从化学反应动力学观点出发认为降低气压是所代大直径单晶生长技术的,则降你气压又可以减弱化学反应。因此断定用氮作保护气是得探讨并可能获得成功,经过初步试验,认为是可行的,便首先登记了发明专利。为进行深入的研究,使设想变为现象,他们于1987年申请了国家自然科学基金用该法生产的硅单晶质量稳定、单昌成品率高达90%左右,有效成品率达65%以上,并为器件生产厂家紧密结合,已经在二极管、整流器、可控硅、大功率晶体管、电力电子器件GTR和集成电路生产中获得实际应用,不仅满足了器伯生产的要求,而且由于含碳量低,为器件质量和成品率的提高提供了保证。
