[00128969]球形粉体材料真空雾化悬浮均匀溅射镀膜方法

1.课题来源与背景 球形粉体材料是由高温可熔性材料,经过粉碎、筛选、研磨、分级等生产过程,得到的具有一定粒径的,颗粒粒径在几微米到几百微米之间,在高温火焰中熔融球化而制得的,在航天、航空、航海、精细化工、大规模集成电路、特种陶瓷、日用化工等高科技领域广泛应用,具有直径小,润滑流动性好,易于分散,表面光滑,比表面积大的一种新型高科技材料。 现有的对粉体材料的表面功能化处理方法,主要是物理涂覆、表面化学包覆、沉淀反应改性等方法,这些方法无法解决球形粉体材料,如球形石英粉、球形硅微粉、空心玻璃微珠、玻璃微珠、球形金属粉体等球形粉体材料在对微小球体状态下的表面均匀镀膜问题,因此就无法生产耐高低温、耐高压、耐潮湿、耐腐蚀、抗氧化等功能的,具有性能优良,满足不同要求的,具有特殊功能的高性能球形粉体材料,如电磁屏蔽材料、导电胶用粉体材料,也无法完成球形金属粉体的抗氧化表面功能化处理等。 2.技术原理及性能指标 本发明目的是克服现有技术存在的上述缺点,提供一种球形粉体材料真空雾化悬浮均匀溅射镀膜方法,本方法能生产耐高低温、耐高压、耐潮湿、耐腐蚀、抗氧化等功能的,具有性能优良,满足不同要求的,具有特殊功能的高性能球形粉体材料,以及球形金属粉体的抗氧化表面功能化处理等。 为实现上述目的,本发明所采用的技术手段是：球形粉体材料真空雾化悬浮均匀溅射镀膜方法,其特征在于：将球形粉体置于真空雾化罐中,真空雾化罐内设置有阴极溅射靶材和阳极体,在真空环境下,通过电场或磁场加速的高能粒子撞击阴极溅射靶材表面时,靶材表面的原子分子和高能粒子进行动量交换,从而使靶材原子或者分子从靶材表面飞溅出来,并且具备一定的能量,碰撞到雾化悬浮在真空中的球形粉体,从而实现球形粉体上的薄膜沉积。 3.技术的创造性与先进性 本发明的有益效果是：本方法能生产耐高低温、耐高压、耐潮湿、耐腐蚀、抗氧化等功能的,具有性能优良,满足不同要求的,具有特殊功能的高性能球形粉体材料,以及球形金属粉体的抗氧化表面功能化处理。 4.技术的成熟度,适应范围和安全性 本发明技术成熟,可以广泛适应于化学和冶金领域,工艺先进,安全可靠。 5.应用情况及存在问题 目前,本项技术已经小批量运用到我公司的正常生产活动中,暂未发现问题。