[00129867]带有应力平衡层的大规模铟镓砷焦平面探测器及制备方法
联系人：
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
成果一种带有应力平衡层的大规模铟镓砷焦平面探测器及制备方法,所述的大规模铟镓砷焦平面探测器在半绝缘InP衬底的背面有应力平衡层。探测器制备的具体步骤如下：1)淀积氮化硅刻蚀掩膜,2)台面刻蚀,3)开N槽,4)生长P电极,5)快速热退火,6)淀积氮化硅钝化膜,7)开P、N电极孔,8)生长加厚电极,9)生长应力平衡层,10)金属化并生长铟柱,11)铟柱剥离并划片。本发明的优点在于：大面阵焦平面探测器平面度好,铟柱形貌更均一,器件耦合连通率高,制备工艺更简单,器件成品率高。
