[00013064]白光垂直扫描表面形貌测量仪
技术详细介绍
仪器主要结构包括：显微干涉镜、成像光路及镜筒、光源、CCD、垂直扫描工作台、PZT驱动电源、显示器、工控机等，实验系统如图所示。
仪器技术指标：垂直测量范围40微米；垂直测量分辨率0.010微米；测量面积0.36×0.27毫米2；显微镜数值孔径：0.40；系统横向分辨率：0.5微米；显微镜放大倍数：20×；显微镜工作距离：4.7mm；CCD像素：1280×1024。
应用领域：表面形貌的二、三维测量、MEMS结构测试、刻线和沟槽尺寸测量、台阶测量等。
