[00130704]光栅线位移传感器检测系统
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技术详细介绍
本项目研制了一套“光栅线位移传感器检测系统”。利用高精度钢带光栅尺作为闭环定位反馈,利用直线电机控制,实现了被测光栅尺自动定位测量点的功能,这一设计提高了测量重复性这一技术指标。利用最大允许误差为0.4μm的双频激光干涉仪作为检测标准器,提高了检测精度。设计了一套光栅尺及激光反射镜的夹持机构,使测量机构更好地符合阿贝原则。本项目的测量导轨达到9米,扩大了测量范围,装置能够检测1米、2米、3米、6米、9米的光栅尺。
