[00131280]薄膜液晶显示器用超高纯铝靶材制造技术

通过超超高纯铝及铝合金靶材制备加工过程中的关键技术攻关,全面掌握应用于大规模集成电路制造和TFT-LCD制造的大尺寸超高纯铝及铝合金靶材的制备加工技术;制备出满足大规模集成电路制造用和TFT-LCD使用要求的超高纯铝及铝合金靶材产品;为在我国形成一个从超高纯铝精炼提纯到靶材加工的完整产业链提供关键技术支撑。 宁波江丰电子材料有限公司承担的“薄膜液晶显示器用超高纯铝靶材制造技术”课题,自2008年12月立项以来,在国家科技部的大力支持和指导下,公司和课题合作单位积极开展相关技术、工艺的攻关研究,课题总体进展情况顺利。 课题按照合同要求,开展各项研究任务。研究了金属靶材的微观组织结构（晶粒、织构）对薄膜液晶显示器生产过程中溅射性能的影响,通过塑性加工以及热处理工艺来精确控制靶材的粒晶以及织构,并形成成熟稳定的靶材生产工艺。自主研发的大面积异种金属间的焊接结合技术,保证了靶材的质量稳定。 对TFT-LCD靶材所需原料--超高纯5N5铝的提纯技术进行研究,已经完成提纯设备的设计,进行了制造安装,并进行了超高纯5N5铝熔炼及铸造工艺研究,目前铝锭的纯度已经达到了5N5,铸造的铝锭直径尺寸达到180mm,有效长度达到1000mm以上。 对TFT-LCD靶材的研发--突破TFT-LCD靶材制造的锻造、轧制、热处理、精密机械加工、焊接、清洗封装等关键技术,并已熟练掌握,应用于靶材的实际制造。各项技术指标符合课题立项要求。 靶材样品通过日本爱发科的溅射性能评价。研制的第5代薄膜液晶显示器用靶材正在接受中航光电子的评价。同时利用靶材加工技术研发的第5代靶材防着板已经通过中航光电子的评价。