[00131776]分子/增压泵稀土永磁材料真空熔炼炉(节能、高效真空熔炼炉)

分子/增压泵是深圳大学在首届《中国国际高新技术成果交易会》上重点推介的科技成果，最近，由深圳市摩尔真空技术有限公司批量投产。分子/增压泵不仅具有分子泵的高真空性能，而且还具有优异的中真空性能，50-10-2Pa压强范围的抽速大幅度超过罗茨泵，能耗仅为罗茨泵的5%，还能获得清洁真空。因此，该泵特别适用于各种等离子体应用（磁控溅射、离子镀、PCVD等）、真空熔炼炉和真空热处理炉等领域。分子/增压泵将大幅度简化真空设备结构、缩短抽气时间、大幅度节约能耗、显著提高产品质量。0.1Pa：抽速与高压强分子泵大体相同，罗茨泵的26倍；1Pa：抽速为高压强分子泵的2倍，罗茨泵的10倍；5Pa：抽速为高压强分子泵的3.5倍，罗茨泵的6倍；＞5Pa：ALCATEL高压强分子泵不能连续运行；10Pa：抽速为罗茨泵的4倍；50Pa：抽速为罗茨泵的1.2倍；100Pa：抽速为罗茨泵的0.7倍。分子/增压泵在50-10-1Pa中真空范围的抽速为同尺寸罗茨泵抽速的1.2-26倍。分子/增压泵稀土永磁材料真空熔炼炉MB-200A分子/增压泵(抽速800l/s)取代ZG-0.025钕铁硼熔炼炉的油喷射泵，获得了抽气时间缩短：55%能耗降低：95.5%，每台熔炼炉年节电6万度。生产效率提高：30％熔炼合金质量：显著提高。市场：真空熔炼炉是制备高性能材料的重要设备。现有我国的真空熔炼炉均无自主知识产权，性能也落后国外先进水平十余年。分子/增压泵真空熔炼炉将大幅度提高我国真空熔炼炉的性能，加速我国稀土永磁材料产业的发展。该项成果已申请国家专利。目前，我国现有稀土永磁材料熔炼炉（折合成70kg熔炼炉）约100余台，年增长约30%。近期市场需求约50台，直接产值2,000万元/年。计入其它产业熔炼炉的需求和旧设备改造，预期社会需求总量可达3,000万元/年以上。项目进展：已完成科研阶段研究和部分中试工作，尚未实现产品化。但可进行70kg以下熔炼炉的工业试验。附件：大型真空设备的快速抽气装置1．简介冲洗抽气是利用注入非活性气体，快速降低真空容器活性气体分压强的抽气方法。目前，在小型真空设备和排气台，例如日光灯和节能灯排气等领域中获得了广泛应用。然而，在大型真空设备抽气中，至今未有成功的先例。本装置包括真空室、真空阀、前级真空泵、真空计，还包括一种具有如下性能的冲洗真空泵机组（下文简称冲洗机组）：1）在1～几百Pa压强范围内能连续工作，抽速达几十～几百升/秒；2）高真空范围抽速能达到几百～几千升/秒，极限真空优于10-4Pa；3）对真空室不产生附加污染，或者附加污染可以忽略。设备还包括冲洗气体源（例如Ar、N2，或其它非活性气体）、充气阀和冲洗气体的注入口，冲洗气体的注入口要设置在真空室抽气流的上游，远离抽气口的部位。2．冲洗抽气的操作1）真空室先由预抽泵（通常采用旋片泵，或滑阀泵）抽至几百Pa，然后用冲洗机组抽至冲洗下限压强P1。P1应取较低的值，但要维持真空室粘滞流状态，对于直径700mm的真空室，P1可取1Pa。2）关闭真空室与冲洗机组之间的真空阀（也可以不关闭），真空室注入冲洗气体至上限压强P2，P2应取较高值，以不超过冲洗机组的最高连续工作压强为准，通常可取几十～几千Pa。3）开启高真空阀，由冲洗机组重新抽至下限压强P1；4）重复上述过程n次，冲洗抽气结束.若漏气和放气可以忽略，真空室中残留活性气体分压强可以降低到Pu=0.2×P1×(P1/P2)n。令P1=10Pa，P2=200Pa，则3次冲洗后，活性气体分压强Pu=2.8×10-4Pa。考虑到真空室的漏气和放气，实际操作中，应适当减小P1/P2的数值，或增加冲洗次数n。3．冲洗机组的要求原则上能满足前述3项要求的真空机组均可用于冲洗。然而，传统真空设备中，还找不到能同时满足这些要求的真空泵（其中罗茨泵能满足条件和2，但该泵有油蒸汽污染，仅能用于少数要求不高的场合），这也是冲洗抽气方法未能用于大型真空设备的根本原因。最近，摩尔公司生产的MB-200A分子/增压泵的性能优异，全面满足了上述要求。4．主要应用领域冲洗抽气法主要用于要求活性气体分压强低，但对真空度要求不高的各种真空应用场合，例如：各种等离子体应用（磁控溅射、离子镀、PCVD等），真空熔炼炉和热处理炉等。5．主要优点1）由于冲洗泵兼有中、高真空两种泵的性能，在大型真空设备中可同时取代高真空泵和中真空泵，简化真空镀膜设备的结构；2）冲洗泵的高真空抽速可以降至传统真空设备高真空泵的1/2；3）若不减小高真空抽速，则可缩短抽气时间50％，生产效率大幅度提高；4）抽气能耗大幅度降低，与扩散泵系统相比，能耗降低80%以上，与分子泵系统相比.能耗降低50%。