[00131918]固体材料密度测量方法的研究
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技术详细介绍
本课题研究了固体密度基准（硅球）为基础的固体密度测量方法,包括固体密度标准样本密度测量方法、密度计校准方法和静力悬浮单晶硅密度测量方法,以及相应测量装置建立。主要研究内容包括：以材料特性稳定的单晶硅或石英为固体密度标准样本,通过液体静力称重法实现从固体密度基准（单晶硅球）到固体密度标准样本的量值传递;以阿基米德原理为基础,采用Cuckow方法来进行密度计的校准,共包括空气中称量密度计和液体中称量密度计两个步骤,并进行了测量系统的设计;通过控制静压力和温度实现液体密度的精密调节,当浸入液体的单晶硅样本与液体密度一致时实现静力悬浮,通过静压力、液体温度和高度等参数的测量可以实现不同单晶硅样本之间的密度差值,并进行了测量系统的设计。
