[00132654]微型惯性传感器件的芯核建模方法及芯核库
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技术详细介绍
本发明涉及一种微型惯性传感器件的芯核建摸方法及其芯核库,属于微机电系统的设计领域。技术特征在于：根据机械和电学两个能量域,以机械行为建模方法和力电耦合行为建模方法建立机械和电学的微结构行为模型。再根据芯核模型定义方法形成微惯性传感器件的可重用芯核。以及根据上述建模方法建立的芯核库：在三维空间内建立MEMS惯性器件的典型功能结构部件的参数化芯核模型,芯核模型的集合外成芯核库。本发明的提出对建立MEMS惯性器件的功能结构部件的芯核模型具有普遍的理论指导意义,为MEMS惯性传感器件的系统级建模方法的工具化奠定基础。可重用芯核库为微陀螺、微加速度计,研究开发先进的微机械陀螺及加速度计等提供支撑。
