[00132737]超高真空磁悬浮复合分子泵

超高真空系统是我国国防领域核心器件、尖端科学仪器、高技术产业工艺装备研制必不可少的关键仪器设备,是制约其整体性能提升的关键技术瓶颈。国外将航天领域的磁悬浮技术成果应用于民用领域,研制的磁悬浮分子泵已逐步取代机械轴承分子泵。国内在超高真空磁悬浮复合分子泵产品面尚属空白,高端真空设备全部依赖进口,价格昂贵,大抽速磁悬浮复合分子泵受到国外技术封锁与禁运,严重制约我国超高真空科学仪器和设备领域的发展。 本项目从我国高端科学仪器和工艺装备对超高真空度的迫切需求出发,针对同时满足超高真空度和大抽速的技术难点,以研制国际先进水平的磁悬浮分子泵系列化产品为目标,采取强强联合方式,基于北京航空航天大学在磁悬浮轴承军工高新技术核心成果,利用北京海斯德电机在高速直流无刷电机、北京北仪创新真空在机械分子泵的技术积累,突破技术瓶颈,自主创新,北航负责磁悬浮复合分子泵总体设计与复合转子、高速电机及控制系统关键技术和整机集成测试,北仪创新真空负责大抽速涡轮动、定片设计及复合转子精密加工与集成,北京海斯德电机负责高集成磁悬浮高速电机的设计及精密加工与集成,攻克总体结构设计、复合转子、高性能磁轴承等超高真空度磁悬浮复合分子泵的多项关键技术,研制成功超高真空磁悬浮复合分子泵,性能指标达到国际同类产品先进水平,实现超高真空磁悬浮复合分子泵在高分辨率质谱仪、长寿命电真空器件、高性能激光器等领域的示范应用,实现了军工高新技术向民用领域成功转化应用。