[00133457]基于柔性支撑的毫米级行程纳米定位平台振动抑制研究
联系人：
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本成果主要完成了大行程纳米定位平台的振动抑制研究,进一步提高了微纳定位装置的定位精度。本成果中的基于柔性支撑的微纳定位装置最终要组合而成宏微平台,实现大行程,多自由度,高精度的定位任务,因此成果对微纳装置在精密制造、微操作、超精测量等领域的广泛应用具有十分重要的理论意义和研究价值。本成果研发过程中,培养了2名硕士研究生,提升了多名工程师的技术能力,并通过高水平论文和专利的撰写,提高了该成果技术的影响力。
