[00135485]直线位移台运动平行度的非接触检测方法

一种直线位移台运动平行度的非接触检测方法,检测装置包括隔震平台、转接架、螺钉、位移传感器、检测基准块。检测方法包括检测装置安装、测量和数据处理。本发明测量具有分辨率高、精度高、速度快、灵敏度高的特点;对测量环境如洁净度、振动要求相对较低。 直线位移台是用以带动负载在其运动平面进行直线移动的装置。位移台理想的移动路径为直线,沿运动直线在垂直水平面的偏移量称为运动平行度,运动平行度只能通过机械加工和装调来保证精度,是实现直线位移台高精度的关键。 现有检测方式有接触式和非接触式两种。 现有接触式检测工具主要是千分表,主要缺点是分辨率和精度低、误差大,易对器件造成损伤,另外不能自动记录数据,需要大量检测时间。 现有非接触式检测工具有自准直仪、干涉仪等等。自准直仪是基于自准直原理的高精度角度测量仪器,再通过换算得到位移变化量,检测结果不直观。干涉仪是利用干涉原理测量光程差从而测定有关物理量的光学仪器。二者测量精度较高,但是比较昂贵,多用于长行程位移台的检测,另外对温度、湿度、振动、洁净度等测量环境要求较高。