[00136134]光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法
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技术详细介绍
一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法,该装置的构成包括平行光光源、光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元,上述部件的位置关系如下：沿平行光光源发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元,所述的对准台供待对准的级联微透镜阵列放置,所述的对准台具有垂直于所述的光轴平移的机构。本发明容易实现,不仅可以用于级联微球面透镜的对准,也可以用于级联微柱面透镜的对准。
