[00136337]用于数字投影显示的关键光电薄膜器件

本项目为用于数字投影显示的关键光电薄膜器件,主要研究内容是在原来已批量生产的基础上,改进工艺,增加设备,拓展市场,增加产量。重点放在两个关键器件上,即彩色图像合成器和厚度简便分色器。 项目技术指标： 1彩色图像合成器主要指标 反蓝通道：Rs-avg=95.9﹪ 反红通道：Rs-avg=96.5﹪ 投绿通道：Tp-avg=98.9﹪ 2厚度渐变分束器指标 长通（透红反蓝）通道： 500～575nm Ts-avg=0.1﹪ 605～700nm Ts-avg=97.3﹪ 589nm T=50﹪ 梯度4nm/cm 短通（透蓝反绿）通道： 420～665nm Ts-avg=97.6﹪ 525～665nm Ts-avg=0.2﹪ 505nm T=50﹪ 梯度5nm/cm 本项目的主要创新点： 1、对投影机的工作原理深入理解,因而对每个光电薄膜器件的要求明确,分解的技术指标切实可行; 2、针对投影机提出了非成像理论设计方法,并编制了专门的设计软件; 3、光电薄膜器件的设计在理论上有了新的突破。比如,对彩色图像合成器,提出红蓝光路采用S偏正光反射,绿光光路采用P偏振光透射的设计,TIR棱镜的设计避开国外专利,提出新的消偏振设计,使飞利浦棱镜的偏振分离减小到1nm以下。 4、在优化方法上,采用新的Needle设计法和一维光子晶体设计理论的结合,并是膜系在制造容差上明显优于常规设计; 5、使用计算机辅助镀制非规整膜系,提高了制造精度; 6、建立了每种器件的测试分析系统,自行设计测试仪器,如垂直反射率测试,温度及温度分布测试,图像裂象、迷光,画角差和黑影测试,应力、角度和面型测试等7、特殊工装可使图像合成器交合构成的新平面误差达到纳米级,台阶误差小于0.1um。 项目通过浙江省方园集团检测研究院检测,满足实际使用要求。项目经济效益良好。