[00138103]一种玻璃基板减薄承载装置

1.课题来源与背景 随着平板显示产品的不断发展,消费者对于包括移动通讯终端在内的各种显示器件的轻薄化要求越来越高,TFT-LCD玻璃基板减薄作为显示器件轻薄化最常用的手段之一,在行业中得到了越来越广泛的应用。 TFT-LCD玻璃基板减薄通常是通过化学药液将玻璃基板均匀蚀刻到目标厚度,现阶段最主流的是喷淋减薄工艺,该工艺是以篮具作为支撑部件,通过架设在篮具底部的承载梁和两端的夹具来实现玻璃基板的固定,然后在玻璃表面喷淋化学药液。承载梁上沿轴向设有一组承载凹槽,玻璃基板卡设与凹槽内,玻璃平面与承载梁相互垂直,由于玻璃基板底部位于凹槽内,在蚀刻减薄时,酸液容易在凹槽内积累而得不到有效循环,导致蚀刻速率减慢,减薄后的玻璃基板底部边缘有厚度超标现象;另外,玻璃与承载梁的接触位置单点受力大,蚀刻后会有明显的底座印;目前对厚度超标玻璃的处理方法是采用打磨机打磨厚度超标部分,来达到生产要求,但该方法处理后的玻璃均匀性较差,打磨耗时长,且由于引入了人为因素导致破片率大大提高。 2.技术原理及性能指标 本实用新型的目的在于提供一种玻璃基板减薄承载装置,该承载装置能够保证玻璃基板在蚀刻后的厚度在允许公差范围内,无需二次打磨,提高产品的成品率。 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 一种玻璃基板减薄承载装置,包括架设于减薄篮具底部的承载梁,所述承载梁顶部设有通过驱动装置带动旋转的承载辊轴,所述承载辊轴与承载梁轴向平行设置,承载辊轴的外周套设有缓冲胶套,玻璃基板的底边与承载辊轴形成配合。 进一步的,所述的承载梁宽度为12～15mm。 3.技术的创造性与先进性 本实用新型的有益效果是,取消承载梁顶部的承载凹槽,在承载梁顶部设置承载辊轴,玻璃基板设于承载辊轴上,在对玻璃基板的蚀刻过程中不会有酸液的积累,酸液可以快速地得到循环;另一方面,蚀刻时,承载辊轴带动玻璃基板低速水平移动,避免玻璃基板同一部位与承载辊轴长时间接触形成凸起,使蚀刻后玻璃基板的厚度在允许的公差范围内,无需二次打磨,提高产品的成品率。 4.技术的成熟度,适应范围和安全性 本实用新型是在前人研究的基础之上,加以创新,其目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种玻璃基板减薄承载装置。本项发明工艺简单,技术成熟,可操作性强,可以广泛适用于液晶玻璃减薄生产工艺设备领域,安全可靠,实用性强。 5.应用情况及存在问题 目前,本项技术已经在我公司小批量使用,效果良好,未发现问题。