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由于采用了特殊的传感器与变换器,本仪器具有极高的灵敏度与分辨率,最高动态分辨率0.01μm(由国家计量院标定)。仪器具有非常好的温度特性。许多指标均高于国内外同类产品,有的高于1个数量级,获部级科技进步二等奖,获省级科技进步三等奖。测量范围:0~500μm半峰值;0~200.0μm半峰值;0~20.00μm半峰值;位移-500~+500μm线性度优于0.5%/满量程。-200.0~200.0μm;满量程7.25V(有效值)20.00μ的量程;噪声:小于4mV;温漂:变换器(0.034%满量程/℃)。