[00014561]利用射频或直流磁控溅射制备掺铝氧化锌透明导电薄膜
技术详细介绍
由于氧化铟材料的不断上涨，而氧化锌在自然界中很丰富，并且氧化锌稳定且不含毒素，因此制备掺铝氧化锌薄膜来替代ITO薄膜具有很好的实用和经济价值。掺铝氧化锌薄膜具有性能稳定、价格低的特点，已经广泛应用在太阳能电池的电极中。本课题组已利用磁控溅射技术制备了方块电阻小于50欧，可见光区平均透过率（含基板）大于84％的掺铝氧化锌薄膜。
由于氧化铟材料的不断上涨，而氧化锌在自然界中很丰富，并且氧化锌稳定且不含毒素，因此制备掺铝氧化锌薄膜来替代ITO薄膜具有很好的实用和经济价值。掺铝氧化锌薄膜具有性能稳定、价格低的特点，已经广泛应用在太阳能电池的电极中。本课题组已利用磁控溅射技术制备了方块电阻小于50欧，可见光区平均透过率（含基板）大于84％的掺铝氧化锌薄膜。
