[00142034]热光型红外探测器及其制作方法
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技术详细介绍
本发明涉及一种热光型红外探测器及制作方法,其特征在于所述的红外探测器由硅衬底,制作于硅衬底之上的像素阵列,以及和硅衬底相键合的玻璃构成,或者由硅衬底,制作于硅衬底之上的像素阵列,与硅衬底相键合的玻璃以及和硅衬底相粘接的红外滤光片构成。在所述的TO－IRD中,采用特殊的隔热柱结构和工艺设计,制作出具有较高高度、站立于硅衬底上的隔热柱,提高TO－IRD的隔热性能;在像素膜系结构中,通过设计和制作专门的红外吸收层,提高TO－IRD对红外辐射的吸收率,且不影响它对读出光的调制功能;采用硅玻璃键合或在真空中粘接红外滤光片,实现器件的真空封装。
