[00142748]高效HIT电池及组件的工艺研究与开发

项目通过对HIT电池表面清洗制绒工艺和PECVD沉积非晶硅工艺研究,确定了清洗制绒和非晶硅薄膜沉积过程中,KOH浓度、IPA添加量、制绒时间、圆化时间对制绒形貌的影响;以及PECVD沉积参数：沉积气压、射频功率、气体流量、沉积温度、衬底温度等参数对非晶硅薄膜质量的影响;最终获得了N型硅片的清洗制绒工艺、本征非晶硅薄膜和非晶硅薄膜沉积工艺,结合后续工艺的匹配,完成了HIT异质结电池的制备。经过清洗制绒,N型硅片的少子寿命为364.27μs,本征非晶硅薄膜钝化后的少子寿命可达3010μs,界面复合速率小于2.5cm.s-1,结合无主栅金属化工艺开发,HIT电池的开路电压为超过740mv,电流密度超过39.9mA/cm2,制备出实验室转换效率为24.06%的高效电池样品,经计算效率可达到21.1%的高效组件。申请专利10项,发表论文10篇,达到了项目责任书中的预期要求。后续随着研发平台各设备到位,将从非晶硅沉积、TCO导电薄膜和金属化电极的不断性能优化中,进一步提升电池的转换效率和工艺制备的稳定性,并进行相应的产业化推广应用。