[00142975]可用于光电器件衬底的优质氧化锌单晶生长技术
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技术详细介绍
黄丰研究员及项目组立足解决氧化锌单晶生长中的单晶质量以及生长成本等关键问题展开研究。从化学势的角度出发，发明了一套可用于在较低温度和较低压力下水热生长优质氧化锌晶体的矿化剂体系并优化其生长工艺，以分析纯的原料生长出尺寸大于28mm的优质氧化锌晶体，发展了近规模化生长优质氧化锌单晶的设备及其生长工艺，为低成本工业化生长优质氧化锌单晶奠定了基础。发展了氧化锌晶体切割、研磨、抛光、退火等后处理技术，加工后的晶体可满足光电子膜器件衬底单晶的要求。完成了晶体半导体性质表征，研究了影响晶体半导体性质的因素，利用生长出的氧化锌晶体初步进行了光电探测器的研制。该项目的研究已申请了1件国防专利，发表了SCI论文2篇，解决了氧化锌晶体生长质量和成本问题，对第三代半导体器件的研究以及产业化具有很好的推动作用。
