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①课题来源与背景: 目前国内平板显示行业和半导体行业蓬勃发展,但是给平板显示行业和半导体行业提供相配套的核心电子零部件制造的企业很少,尤其是国内本土行业更是少之又少,平板显示行业和半导体行业一直面对国外厂商的竞争,尤其是价格的竞争,所以各厂商急需寻找到服务能力强且价格又有竞争力的供应商。目前少有的几家供应商都是日资、韩资、台资企业,而没有国产化的中资公司。目前液晶面板行业的零部件再生主要在国外完成,国内与之相配套的再生产能仅有一家,且只能配套部件尺寸较小的半导体行业,完全无法满足日益增长的国内需求。 ②技术原理及性能指标: 主要从等离子喷涂的设备和原理出发,分析了影响喷涂效果的主要工艺参数有电流、送粉量、喷枪到产品的距离、产品表面喷砂粗糙度,研制了空间加工的工装夹具,制定了产品的制造工艺方案和工艺参数,然后组织技术人员分组试验,在取得大量技术参数的基础上,选择最优技术方案。 主要性能指标:氦气孔孔径0.5±0.05,上表面粗糙度0.8~1.5 um,绝缘电阻最小2000KΩ,漏电流最大0.00001A,真空度最大1.33Pa、粘结力≥4MPa ③技术的创造性与先进性: 本项目开发的产品为国内首创,取代进口,研发过程中获得4项实用新型专利,目前已授权(喷涂粉桶改进结构、一种用于等离子喷涂中的冷却除杂结构、一种用于等离子喷涂设备喷枪的手持式壳体、一种电极备件运输周转箱)。 ④技术的成熟程度,适用范围和安全性: 项目产品已批量为以下公司供货:深圳市华星光电技术有限公司、京东方科技集团股份有限公司、南京中电熊猫液晶显示科技有限公司、北京维信诺科技有限公司、深超光电(深圳)有限公司、厦门天马微电子股份有限公司等。自主研发的真空腔体内核心部件——电极,真空电极,它是生产液晶面板设备的一个核心部件,通过它,液晶面板上才能集成各种电路,从而实现显示功能,这种产品的量产也填补了国内在新型显示产业链上的一大空白,取代了进口。 ⑤应用情况及存在的问题: 产品经客户使用,受到较高的评价,产品性能达到进口水平,价格比国外产品低30%.具有很高的性价比。