[00145658]真空镀膜机扩散泵的循环冷却水系统
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技术详细介绍
本发明公开了一种真空镀膜机扩散泵的冷却系统。它包括两个水箱、水泵、真空镀膜设备及控制水阀,该一号水箱底端出水管道a依次经过第一水阀（1）、第一水泵M1和第二水阀（2）,接到真空镀膜机的冷却水进水口,形成真空镀膜机的冷却水进水管路,一号水箱底端出水管道b接到二号水箱底端出水管道c,形成排水管路,一号水箱的进水管道f依次经过第四水阀（4）和第二水泵M2,接到二号水箱的底端出水管道d,形成从二号水箱到一号水箱的水流通路;该二号水箱的顶部入水管道e经过第三水阀（3）接到设备的出水口,形成从真空镀膜机到二号水箱的水流通路,实现水的循环。本发明避免了水浪费和环境污染,可用于高等学校实验室的真空镀膜实验。
