[00147836]反射式周期性微纳结构的带隙特性测量装置
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技术详细介绍
反射式周期性微纳结构的带隙特性测量装置由激光器（1）、反射镜（2）、聚焦准直系统（3）、偏振器（4）、反射镜（5）、反射镜（13）、探测光纤（10）、光功率计（9）、计算机（8）及样品台（7）组成,激光器（1）发出的激光依次经过第一反射镜（2）反射、聚焦准直系统（3）聚焦准直,并经偏振器（4）检偏后形成一束均匀的平面波,再被第二反射镜（5）和第三反射镜（13）反射后,该平面波（12）倾斜入射到被测样品（6）表面上,探测光纤（10）直接靠近样品表面探测,探测的反射光谱信号（11）进入光功率计（9）测试后转换成电信号,输入计算机（8）进行处理得到带隙结构。 本发明通过探测反射光谱而不是透射光谱来获得周期性微结构的带隙特性,具有技术简单、容易实现、操作方便、精度高的特点。
