[00148353]632.8纳米波长的高衍射效率石英透射光栅
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技术详细介绍
一种632.8纳米波长的高衍射效率石英透射光栅，该光栅的线密度为1575～1630线/毫米，光栅的深度为1.1～1.3微米，光栅的占空比为1/2，本发明可以同时使TE、TM偏振方向的+1级布拉格透射衍射效率实现高于85%，实现了对偏振模式的自由选择。特别是当光栅密度为1575线/毫米，光栅深度为1.2微米时，TE和TM偏振模式的效率均大于93％；当光栅密度为1580线/毫米，光栅深度为1.1微米时，TE偏振模式下+1级布拉格透射衍射效率有最大值97.81％。本发明矩形刻蚀石英光栅由微电子光刻工艺、深刻蚀工艺加工而成，可以低成本地大批量生产。
