[00149364]一种微波液相等离子体发生装置
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摘要：本发明公开了一种微波液相等离子体发生装置，包括：微波放电电极、固定盘和微波输入接头；所述微波放电电极底端通过固定盘与微波输入接头顶端活动连接；所述微波放电电极由轴向平行的电极内导体、陶瓷管和电极外导体依次由内到外构成；所述陶瓷管套设于电极内导体外侧壁上；所述陶瓷管与电极外导体之间具有的间隙中均匀填充有硅胶；所述微波输入接头由轴向平行的输入接头内导体、密封固定块和输入接头外导体依次由内到外构成；所述输入接头内导体通过密封固定块与输入接头外导体密封连接；本发明既便于拆卸，也易于操作，同时通过调节陶瓷管的长度，能够实现对放电电极阻抗进行调节，放电电极与馈线的阻抗匹配特性较好。
