项目简介:
一种测定高纯硅中磷含量的方法,涉及一种硅中磷含量的测定。提供一种所用设备简单,成本低廉,操作步骤标准化,检测限低,灵敏度以及精确度较高,适合于低磷含量硅检测,可利用分光光度计低成本快速精确检测低磷硅样的测定高纯硅中磷含量的方法。配制磷标准液;配制酸性显色液、2mol/L?H2SO4的硫酸、硫代硫酸钠溶液和PVA溶液;绘制磷标准工作曲线;获得未被污染的硅样;依据样品的磷含量范围称取无污染样品;将样品放入聚四氟乙烯烧杯中溶解蒸发;将溶解蒸发的样液进行显色操作;测试显色液的吸光度并计算磷含量。