[00015815]基于MEMS的平面振动双螺旋压电换能器
技术详细介绍
项目简介：
基于MEMS的平面振动双螺旋压电换能器，涉及一种换能器，尤其是涉及一种基于微机电系统(MEMS)技术，主要应用于环境中的低频振动能量收集，还可用于惯性传感器、加速计、陀螺仪、作动器等的平面振动双螺旋压电换能器。提供一种基于MEMS的平面振动双螺旋压电换能器。设有外壳、PZT压电薄膜、两组大质量块、两对电极和一对接线端。换能器平面振动，即收集平面内振动的机械能；双螺旋状压电梁式结构，d31工作模式的压电器件，能够产生较大的机电耦合特性；新颖可靠的电极结构能够同时用于极化和传导，电极串联输出；采用MEMS工艺制作，与硅加工工艺兼容，易与其它基于MEMS工艺的传感器集成。
